Ваша оценкаРассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Жанры
Возрастные ограничения:
18+
Рейтинг LiveLib
0
0 оценок
Ваша оценкаРецензии
На эту книгу еще нет ни одной рецензии. Ваша может стать первой.
Цитаты
Еще не добавлена ни одна цитата из книги. Ваша может стать первой.
Подборки с этой книгой
Еще нет ни одной подборки с этой книгой. Ваша может стать первой.