
Ваша оценка0
(0)
Технологии субмикронных структур микроэлектроники
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Жанры
Рейтинг LiveLib
0
0 оценок
Ваша оценка











