
Ваша оценка Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быт...
Жанры
Возрастные ограничения:
18+
Рейтинг LiveLib
0
0 оценок
Ваша оценкаРецензии
На эту книгу еще нет ни одной рецензии. Ваша может стать первой.
Цитаты
Еще не добавлена ни одна цитата из книги. Ваша может стать первой.
Подборки с этой книгой
Еще нет ни одной подборки с этой книгой. Ваша может стать первой.






































