Это новая версия страницы. Часть функций ещё в работе — мы добавляем их постепенно.
К старой версии страницы
Ваша оценка0
(0)
Эпитаксиальные слои кремния на сапфире, выращенные сублимационной МЛЭ
Структуры кремний-на-сапфире (КНС) используются для создания быстродействующих интегральных схем с повышенной радиационной стойкостью. В работе приведены результаты исследования монокристаллических субмикронных слоев кремния на сапфире, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии с использованием сублимационного источника Si. Сообщаются некоторые особенности разработанных устройств для роста слоев кремния на сапфире из сублимационного источника Si, расположенного в камере роста сверхвысоков...
Жанры
Издательство:
ISBN:
9783848423118
Год издания:
2012
Язык:
Русский
88стр.
Возрастные ограничения:
18+
Рейтинг LiveLib
0
0 оценок
Ваша оценкаРецензии
На эту книгу еще нет ни одной рецензии. Ваша может стать первой.
Цитаты
Еще не добавлена ни одна цитата из книги. Ваша может стать первой.
