Монография «Нанотехнология» подготовлена коллективом авторов на основе исследований и разработок, выполненных на кафедре микроэлектроники и в Центре микротехнологии и диагностики Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета. Систематически излагается материал, охватывающий проблемы физики квантоворазмерных неорганических и биоорганических наноструктур; процессы нанотехнологии, ориентированные на формирование нанослойных систем и нанокомпозиций неорганической и органиче...