Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Светлана Козубняк
- Издательство:МГТУ им. Н.Э. Баумана
- ISBN:978-5-7038-3729-0
- Год издания:2016
- Язык:Русский
Светлана Козубняк
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Светлана Козубняк