Нанотехнології. Квантові точки. Нанокристали.
- 195 книг
Ваша оценка0
(0)
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей о...
Жанры
Рейтинг LiveLib
0
0 оценок
Ваша оценка