Нанотехнології. Квантові точки. Нанокристали.
- 195 книг
Ваша оценка0
(0)
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. В 2 томах. Том 2. Технологические аспекты
Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне cамостоятельный интерес.
Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона ...
Жанры
Рейтинг LiveLib
0
0 оценок
Ваша оценка